平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差，而平面度误差的测量是一般机械制造行业主要的检测项目。中国南车集团下属某公司生产的刹车系统产品中，主要的滑阀及滑阀套（图1）平面度检测为三坐标抽检方式。该检测方法存在操作步骤复杂、检测时间长、检测效率低无法满足全检的要求。

        我公司根据客户技术需求及现场工况研发了滑阀及滑阀套系列电涡流自动平面度检测设备（图2）。该设备主要用于滑阀及滑阀套产线上平面度的检测，设备运行稳定、检测可靠、操作方便、设备数据可远传至企业MES/ERP系统。

图1  检测工件图

图2  电涡流平面度检测仪

         该电涡流平面度检测仪使用8个电涡流传感器，对被测工件的八个点进行测量，通过相应的平面拟合算法完成平面度的测量。其软件控制系统（软件界面如图3）的主要功能是实现对被测滑阀及滑阀套位置点的采集，处理以及运算；对整个系统进行统一控制。平面度检测测量精度不低于±3μm。

图3  主软件界面

        对被测滑阀及滑阀套测量点数据进行记录，输出平面度数据并记录，并可按日期查询（图4）。

图4 数据记录界面

        实时监控测量点传感器连接情况以及运行情况；传感器安装位置指示（图5）。

图5 传感器运行及位置监测

        客户可根据实际生产及质量要求设置传感器位置的最大偏差值和合格值。位置偏差是相对于校验标准板。合格值表示被测物的平面度大于设定的合格值时，此被测物为不合格，反之合格。

用户评语：

该平面度检测仪使用至今，运行稳定，处理速度快，且检测精度达到3μm，极大的提高了我们的检测效率，同时保证了产品的质量，也为我们后续的质量控制提供了充实的数据基础。